压电扫描台

  P18系列压电扫描台为1-3维直线扫描台。台体采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现X、XY、XYZ大370μm 的高速扫描，大通光孔径为?35mm，多种位移行程及规格型号可供选择，适用于大行程多维扫描等应用。

特性：

? 大位移370μm

? 大承载3.5kg

? 通孔直径：?35mm

1~3维扫描台

    P18压电扫描台包括X/XY/XYZ三种结构形式，可以 满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。

典型应用

? 闭环重复定位精度高 ? 响应速度快

? 图像处理与稳定 ? 扫描显微

? 干涉/计量 ? 表面检测

? 半导体测量 ? 光学计量

大位移、大承载、高刚度、高频响

   P18系列压电扫描台内置高可靠性压电陶瓷驱动，可以 实现大370μm的扫描范围，运动直线性好，可选择闭环版 本获得优异的线性度与重复定位精度。

   P18采用*的结构设计，具有大刚度、大出力、大承 载等特点，大承载达3.5kg，空载谐振频率达600Hz，配 套芯明天大功率控制器响应时间高可达5ms，是精密加 工、半导体制造、扫描显微等应用的选择。

在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动， 从而优化镜片读取的信息。

芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用 于纳米光刻实验。

  P18系列压电扫描台为1-3维直线扫描台。台体采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现X、XY、XYZ大370μm 的高速扫描，大通光孔径为?35mm，多种位移行程及规格型号可供选择，适用于大行程多维扫描等应用。

特性：

? 大位移370μm

? 大承载3.5kg

? 通孔直径：?35mm

1~3维扫描台

    P18压电扫描台包括X/XY/XYZ三种结构形式，可以 满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。

典型应用

? 闭环重复定位精度高 ? 响应速度快

? 图像处理与稳定 ? 扫描显微

? 干涉/计量 ? 表面检测

? 半导体测量 ? 光学计量

大位移、大承载、高刚度、高频响

   P18系列压电扫描台内置高可靠性压电陶瓷驱动，可以 实现大370μm的扫描范围，运动直线性好，可选择闭环版 本获得优异的线性度与重复定位精度。

   P18采用*的结构设计，具有大刚度、大出力、大承 载等特点，大承载达3.5kg，空载谐振频率达600Hz，配 套芯明天大功率控制器响应时间高可达5ms，是精密加 工、半导体制造、扫描显微等应用的选择。

在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动， 从而优化镜片读取的信息。

芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用 于纳米光刻实验。