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商品详情
| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 位移轴 | X | ||
| Y | |||
| Z | |||
| 开环运动 | 100um | ||
| 闭环运动 | 80um | ||
| 每轴电容量 | 1.8uF | ||
| 分辨率 | 0.2-2nm | ||
| 重复性 | 20-30nm | ||
| 谐振频率 | 500/550/480Hz | ||
| 电压范围 | 130v | ||
| 线缆长度 | 1.2米 | ||
| 品牌 | PIEZOSYSTEM | ||
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