日本大金KSO-G02-66CC-30电磁阀，DAIKIN电磁阀，大金柱塞泵是液压系统的一个重要装置。它依靠柱塞在缸体中往复运动，使密封工作容腔的容积发生变化来实现吸油、压油。柱塞泵具有额定压力高、结构紧凑、效率高和流量调节方便等优点，被广泛应用于高压、大流量和流量需要调节的场合，诸如液压机、工程机械和船舶中。大金柱塞泵性能概述有如下：KSO-G03-2AP-20-H2、KSO-G03-2BP-20-2T、，KSO-G03-4CP-20、KSO-G03-4CD-20、KSO-G03-2AD-H2-20、KSO-G03-3CD-20、KSO-G03-2BD-20；，，LS-G02-7CA-25-EN-650 , LS-G02-2BA-25-EN-650 ,LS-G02-8CP-20-EN，LS-G02-2CA-25-EN-645 LS-G02-4CP-20-EN LS-G02-2CP-20-EN LS-G02-2CA-30-EN，LS-G02-2CB-30-EN LS-G02-2CC-30-EN LS-G02-2CD-30-EN LS-G02-2CP-20-EN，LS-G02-3CB-30-EN LS-G02-3CC-30-EN LS-G02-3CD-30-EN LS-G02-3CP-20-EN，LS-G02-4CB-30-EN LS-G02-4CC-30-EN LS-G02-4CD-30-EN LS-G02-4CP-20-EN，LS-G02-44CB-30-EN,LS-G02-44CC-30-EN,LS-G02-44CD-30-EN,LS-G02-44CP-20-EN，LS-G02-2AB-30-EN LS-G02-2AC-30-EN LS-G02-2AD-30-EN LS-G02-2AP-20-EN，LS-G02-3AB-30-EN LS-G02-3AC-30-EN LS-G02-3AD-30-EN LS-G02-3AP-20-EN，LS-G02-2BB-30-EN LS-G02-2BC-30-EN LS-G02-2BD-30-EN LS-G02-2BP-20-EN，LS-G02-5CB-30-EN LS-G02-5CC-30-EN LS-G02-5CD-30-EN LS-G02-5CP-20-EN,LS-G02-66CB-30-EN,LS-G02-66CC-30-EN,LS-G02-66CD-30-EN LS-G02-66CP-20-EN，LS-G02-7CB-30-EN LS-G02-7CC-30-EN LS-G02-7CD-30-EN LS-G02-7CP-20-EN，LS-G02-8CB-30-EN LS-G02-8CC-30-EN LS-G02-8CD-30-EN，、

日本大金KSO-G02-66CC-30电磁阀，DAIKIN电磁阀，V型柱塞泵，以独特设计斜盘变化角度功能。广泛应用于各种场所。特殊设计，在全压力区内，保持低噪音性能。由多种控制方式整合，能形成系统，具有省能源、小型化、低成本功能等优点。功率损失小、减低油温上升、可选配较小型油箱。广泛应用于工具机、机庆、锻压、塑料成形机等。低噪音，每个系列中所有压力范围都实现了低噪声音运转，高效率。大金柱塞泵特点高密度介质排出：因采用了支撑斜盘，实现了小型轻量化、高压化，从而提高了单位重量的输出功率。低工作噪音：在提高斜盘构造刚性的同时，采用最新测量分析技术设计的机架，使运转噪音大大降低。高效率：采用球阀板和适宜的油压平衡，扩展了运转条件且产生高效率。长效运转：由于采用了优良的耐磨型球阀板，强化了抗污染特性。

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在充入少量工艺气体的真空室内，当极间电压很小时，只有少量离子和电子存在，电流密度在10-15A/cm2数量极，当阴极（靶材）和阳极间电压增加时，带电粒子在电场的作用下加速运动，能量增加，与电极或中性气体原子相碰撞，产生更多的带电粒子，直至电流达到10-6A/cm2数量极，当电压再增加时，则会产生负阻效应，即“雪崩”现象。此时离子轰击阴极，击出阴极原子和二次电子，二次电子与中性原子碰撞，产生更多离子，此离子再轰击阴极，又产生二次电子，如此反复。当电流密度达到0.01A/cm2数量级左右时，电流将随电压的增加而增加，形成高密度等离子体的异常辉光放电，高能量的离子轰击阴极（靶材）产生溅射现象。溅射出来的高能量靶材粒子沉积到阳极（玻璃毛坯）上，从而达到镀膜的目的。
在磁场的作用下，电子在向阳极运动的过程中，作螺旋运动，束缚和延长了电子的运动轨迹，从而提高了电子对工艺气体的电离几率，有效地利用了电子的能量，因而在形成高密度等离子体的异常辉光放电中，正离子对靶材轰击所引起的靶材溅射更加有效。同时受正交电磁场的束缚，电子只有在其能量消耗尽时才能落在玻璃上，从而使磁控溅射具有高速、低温的优点。
，KSO-G02-81CN-30、KSO-G02-81CP-30、KSO-G02-91CA-30、KSO-G02-91CB-30、KSO-G02-91CC-30、，KSO-G02-91CD-30、KSO-G02-91CN-30、KSO-G02-91CP-30、，，KSO-G02-2NA-30、KSO-G02-2NB-30、KSO-G02-2NC-30、KSO-G02-2ND-30、KSO-G02-2NN-30、，KSO-G02-2NP-30、KSO-G02-20NA-30、KSO-G02-20NB-30、KSO-G02-20NC-30、KSO-G02-20ND-30，KSO-G02-20NN-30、KSO-G02-20NP-30、KSO-G02-2N-2TA-30、KSO-G02-2N-2TB-30、KSO-G02-2N-2TC-30、KSO-G02-2N-2TD-30、KSO-G02-2N-2TN-30、KSO-G02-2N-2TP-30、KSO-G02-2N-H2A-30、KSO-G02-2N-H2B-30、KSO-G02-2N-H2C-30、KSO-G02-2N-H2D-30、KSO-G02-2N-H2N-30、KSO-G02-2N-H2P-30、，，KSO-G02-2DA-30、KSO-G02-2DB-30、KSO-G02-2DC-30、KSO-G02-2DD-30、KSO-G02-2DN-30、，KSO-G02-2DP-30、KSO-G02-20DA-30、KSO-G02-20DB-30、KSO-G02-20DC-30、KSO-G02-20DD-30、，KSO-G02-20DN-30、KSO-G02-20DP-30、KSO-G02-2A-H2A-30、KSO-G02-2A-H2B-30、KSO-G02-2A-H2C-30、KSO-G02-2A-H2D-30、KSO-G02-2A-H2N-30、KSO-G02-2A-H2P-30、KSO-G02-3A-H3A-30、KSO-G02-3A-H3B-30、KSO-G02-3A-H3C-30、KSO-G02-3A-H3D-30、KSO-G02-3A-H3N-30、KSO-G02-3A-H3P-30、KSO-G02-81A-H4A-30、KSO-G02-81A-H4B-30、KSO-G02-81A-H4C-30、KSO-G02-81A-H4D-30、KSO-G02-81A-H4N-30、KSO-G02-81A-H4P-30、KSO-G02-3A-T5A-30、KSO-G02-3A-T5B-30、KSO-G02-3A-T5C-30KSO-G02-3A-T5D-30，，KSO-G03-2BP-20、KSO-G03-2DP-20、KSO-G03-2CP-20、

日本大金KSO-G02-66CC-30电磁阀，DAIKIN电磁阀，
2 靶材状况通过对数套靶从开始使用到报废全过程的观察、记录、分析，我们发现有非常一致性的规律，表1是一套靶报废时的实测参数，其他靶的参数略有不同，但变化很小，规律一致。通过表1的实物测量数据，我们可以看出：2.1每块磁铁中部的磁场强度小，靶材溅射沟浅；磁铁间缝隙磁场强度大，溅射沟深。磁铁中部的磁场强度小，缝隙磁场强度大，这一现象是由磁铁的物理属性造成的。磁场强度大的地方溅射沟深，这是因为磁场强度大的区域二次电子和离子密度大；磁场强度小的地方溅射沟浅，这是因为磁场强度大的区域二次电子和离子密度小。
2.2靶材报废时溅射沟中心线不在磁铁N、S极正中间，而是偏向外边即N极12.5㎜左右，新靶溅射沟的中心线，偏向N极8.5㎜左右。
离子在向阴极运动过程中，受到正交电磁场的作用而发生偏转，因此溅射沟中心线不在磁铁N、S极正中间，而是偏向N极，离子体距离新靶的靶面近，离子的偏移量小，因此溅射沟的中心线只偏向N极8.5mm左右，而旧靶的溅射沟距磁铁近，磁场强度大，并且距离子远，偏移量大，因此溅射中心线偏向N极12.5mm左右。2.3靶材溅射沟随磁中、磁隙呈波浪状起伏，在磁铁中部溅射沟偏向中间，即S极，在磁铁缝隙溅射沟偏向外边，即N极。其原理同上。 2.4靶材两端圆弧段比中间直线段的溅射沟要深一些，约25%。虽然圆弧段比中间直线段磁场强度要小很多，但因为电子运动到该处受到阻塞，再加上泵抽效应的影响，致使该处的等离子体密度大，溅射效率高，溅射沟深。
2.5 HRC-5100型靶的靶长2695mm而玻璃最大宽度为2134mm，即靶材的两边有（2695-2134）/2=561/2=280.5mm没有有效地沉积到玻璃上。玻璃的边缘约对应靶的第4个孔和第32孔，从（表1）可以看出，溅射沟两端最深处的溅射，基本没有沉积到玻璃上，而该处靶材溅射效率却最高，造成靶材过早地报废。为了消除边缘效应、泵抽效应，使膜层横向均匀，而人为将靶设计宽一些，同时为满足磁控溅射工艺，将磁场设计成环形，防止电子流失控。
如果我们适当地降低靶材两端的磁铁强度，这样就可以既不影响整板玻璃的横向色差均匀度，又能减少高溅射速率区域的溅射速率，提高靶材寿命。3.靶材磁场的调整3.1 找出调整点
根据表1我们不难看出，靶材直线段最深处一般不超过21.0mm，而圆弧段都超过21.0mm，因此我们把深度超过21.0mm的点定为调整点。在靶材的上半部，共有左圆弧段磁隙、圆弧段中部、33孔、31孔、3孔和圆弧段中部六个点的磁场需要调整，在靶材的下半部，共有圆弧段中部、33孔、11孔、7孔、5孔、4孔、3孔、圆弧段中部和右圆弧段磁隙九个点的磁场需要调整。
3.2调整的标准在表1中我们可以看出，同样的磁场强度，由于所处的位置不同，其左、右磁场强度的不同，都会造成溅射深度的不同。因此很难明确指出应当将调整点的磁场强度调整到某个数值，或降几个百分点，这需要凭经验来摸索。有一点非常关键，在调整圆弧段磁场强度时，如果降得过多，将造成无法保持电子流，无法形成异常辉光放电，也就无法形成溅射。3.3调整的方法
3.3.1先准备一些低碳钢条，6mm宽，3mm厚，20～100mm长。3.3.2将磁铁上的压紧铝排拆下，刮干净磁铁上的锈迹。
3.3.3在调整点的磁铁中部放上钢条，模拟靶材表面的实际高度，测量该点的磁场强度，根据测量值，调整钢条的长度，装上铝压排、铜板和新靶材，在这套靶材将要报废时，再次测量靶材磁场强度和溅射深度，作为再次调整磁场强度的依据。
3.3.4调整结果：经过两个周期的使用，我们终于得到了较满意的效果，见表2。靶材磁场和溅射深度对应表 表2材上半部磁场和溅射深度磁场强度的调整，是一个非常细致，需要耐心和经验的工作，某一点磁场强度的改变，都会造成旁边两个点的磁场强度改变。

通过对调整后几套靶的实际使用效果观察，我们发现一套靶中溅射沟最浅处同比增加2.8mm，一套靶的利用率提高了约11%，按现在每套钛靶4.2万元，每年消耗16套靶，不锈钢靶3.4万元，每年消耗6套计算，每年可节约资金约9.64万元。同时可延长换靶周期11%，增加了有效工作时间。