商铺名称：上海衡鹏企业发展有限公司
联系人：陈静静（小姐）
联系手机：
固定电话：
企业邮箱：lee.li@hapoin.com
联系地址：上海市徐汇区田州路159号莲花大厦3楼B座
邮编：200233
联系我时，请说是在勒克斯之家上看到的，谢谢！
商品详情
| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | JEL | ||
| 品名 | 机械手臂 | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 产地 | 中国 | ||
| 手指材质 | CFRP(碳纤维) | ||
| 铝合金 | |||
| 晶圆固定方式 | 下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式 | ||
| 控制通讯方式 | RS232C及并口I/O方式 | ||
| 使用环境 | 洁净间内的大气环境真空 | ||
| 手臂 | 单臂 | ||
| 到达距离 | 640mm | ||
| 升降轴最大行程 | 60mm | ||
| 可搬运质量 | 10kg | ||
| 英文名 | wafer transfer robot | ||
| 轴数 | 3轴 | ||
| 可售卖地 | 北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆 | ||
| 型号 | SVCR3330S-060-PM | ||
.jpg)
.jpg)
真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3330S-060-PM特点：
真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3000系列
双手指结构可以在真空腔室内搬运4kg以下的托盘
相比LVHR系列机械手臂具有较好的性价比优势
手臂关节处使用磁流体密封装置
真空密封：磁流体密封装置和波纹管
提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5μm级过滤器
配备动作监视器
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
全轴采用2相步进电机
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
可以选配2相步进电机规格
手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
晶圆固定方式：下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式
可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供最优的手指
真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3330S-060-PM基本参数：
使用环境 洁净间内的大气环境真空
手臂 单臂
到达距离 640mm (手臂第3关节中心到达距离)
升降轴最大行程 60mm
可搬运质量 10kg (手臂第3关节处基准)
在线询盘/留言
