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产品参数 | |||
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品牌 | OKAMOTO | ||
品名 | 晶圆研磨机 | ||
别名 | 晶圆减薄机 | ||
产地 | 日本 | ||
加工直径 | Ф300㎜ | ||
主轴转速范围 | 0~3000rpm | ||
主轴驱动电机功率 | 5.5kW/4kW | ||
主轴进给速度范围 | 1~999μm/min | ||
主轴数 | 2 | ||
工作盘转速范围 | 1~300rpm | ||
研磨轮尺寸 | Ф300㎜ | ||
重量 | 5700kg | ||
尺寸 | 电仪 | ||
可售卖地 | 北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆 | ||
类型 | 全自动 | ||
型号 | GNX300B |
研磨机——OKAMOTO冈本GNX300B全自动晶圆减薄机特点:
GNX300B拥有BG研磨专利技术。
日本机械学会授予冈本标准传送方式及向下研磨方法技术奖
主轴机械精度可调
冈本自产铸金一体化结构,不易老化,精度持久
润滑系统有完善防护,避免异物进入造成磨损
适用晶圆尺寸:6”、8”、12” 最大晶圆厚度: 1000μm
可切换全自动、半自动操作模式
17 寸触控操作与监控屏,监控气压、电流、水流、厚度等
研磨耗材损耗小,加工成本低廉
研磨硅屑细小,冲洗更干净
GNX300B晶圆研磨机规格:
规格 GNX300B
最大加工直径 Ф300mm
主轴转速范围 0~3000rpm
主轴驱动电机功率 5.5/4 Kw/P
主轴进给速度范围 1~999μm/min
主轴数 2
工作盘转速范围 1~300rpm
研磨轮尺寸 Ф300mm
设备整重 5700kg