产品名称：SENS4真空传感器VPM-5

产品型号：VPM-5

产品介绍：

VPM-5传感器提供良好性能，并通过将可用的电导率真空测量仪的可用测量范围扩展到1-3年来建立了新标准技术，再加上新型的准确数字信号处理架构和创新测量算法。

性能特点：

?超宽的测量范围为9年

?通过S4-Connect USB程序员简化配置

?0-10 VDC可编程电压输出

?数字RS-232或RS485接口

?稳定Zero漂移补偿

?可选的固态设定点继电器用于过程控制

参数：

?磁滞1×10-3至10 MBAR（ISO19685：2017）：1％

?滞后10至1333 MBAR（ISO19685：2017）：0.1％

?模拟输出分辨率：16位（150 μV）

?模拟输出更新率：124 Hz

?响应时间（ISO 19685：2017）：<20 ms

?温度补偿：+10至+50°C

?固态继电器设定点范围：5×10-6至1333 MBAR（3.75×10-6至1000 Torr）

?固态继电器接触评级：50 V，100 MARMS / MADC

环境条件:

?操作环境温度：-20至+50°C

?介质温度：-20至+50°C

?存储环境温度：-40至+120°C

?烘烤温度（非操作）：+120°C

?安装位置：任意

?湿度，IEC 68-2-38：98％，无调

电源:

?电源电压：12-30 VDC

?功耗：240 MW（max）

?反极性保护：是

?电压保护：是

?内部保险丝：100 mA（可回收）

应用：

?质谱仪

?扫描电子显微镜

?炉热处理

?玻璃，光学，工具等的PVD涂层

?制冷服务和制造

?半导体处理