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5100系列是一款质量流量控制器,它实现了无焊接结构(VCR规格),金属密封的基本性能,以及半导体工艺气体控制所需的±1%精度。
板载传感器的响应能力。它具有出色的分辨率,可以处理1 sccm(N2)的微流量。
通过使用温度跟踪型电流差检测流量传感器实现高精度,高速传感器响应
采用电磁铁电磁阀常闭阀
由于无焊接结构(VCR规格),金属密封,泄漏低
采用隔膜阀,减少死体积
面对面,体型和接线连接与其他公司的更换兼容
技术参数:
流量范围 (N2转换20°C / 1 ATM) |
1SCCM~20SLM(任意条件选择) | |
---|---|---|
传感器方式 | 热绕组传感器 |
约1000g
阀门方式
比例螺线管阀门(未通电时关闭)
控制范围
2~100%(F.S.)
响应速度
1秒内(±2%F.S.内)
准确性
±1%F.S.
温度系数
0.1%F.S./°C(15~35°C)
再现性
±0.2%F.S.
操作压差范围
F.S.≤5SLM50. 300kPa
F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa
选项:低压差规格(LP)可根据条件制造
可工作压力
300kPa(G)以下
耐压
980kPa(G)
He泄漏率
1 x 10-11 Pa.m3/s以下
允许周围温度
0~50℃
允许环境湿度
10~90%RH(无结露)
气体接触材料
车身SUS316L
隔膜SUS316L
阀座PTFE
密封材料SUS316L,Ni,Au
选项:SUS密封(SU),内部磨削规格(KP)
电气连接
Dsub 9针KFC 标准(符合SEMI标准)
流量设定
输入信号
0~5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)
流量输出信号
0~5 VDC(外部负载电阻250kΩ以上)
所需电源
+15 VDC(±5%)100 mA,
-15 VDC(±5%)200 mA
配件(车身尺寸)
标准1/4 VCR等效选项1/4 SWL
重量