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近,RF-MEMS 已使用表面微加工工艺制造,该工艺使用由多晶硅和铝保护的两个导电薄膜层,在其上使用电镀金构建实际的 MEMS 悬浮静电驱动膜(图3) 此外,使用镀金薄膜可将金属与金属的接触电阻降#低 图 3:基于表面微加工工艺的 RF-MEMS 技术平台,用于制造用于多 GHz 应用的多态 RF 功率衰减器
ZA1-3BL 电力仪表 07-24提供报价参见图4和图5 再次使用网络分析仪或反射计来验证回波损耗是否保持出色水平――约为25 dB或更出色 图4.液位检测示例中使用的巴伦和传输线 图5.分立式巴伦和端接传输线,连接到水箱之前 现在,传输线可能连接#水箱侧面,如图6所示 连接到空水箱时,回波损耗稍微降低是正常现象,这是因为作为传输线附加介电层的水箱壁材料具有失谐效应