详细介绍: 中频感应熔炼炉供应商-中频感应熔炼炉价格
用于
太阳能级硅锭制造,也可以用于其他半导体材料提纯。
特点
控制精度高,结晶速度自由调节
采用石墨电阻或感应加热熔炼法,增加溶液搅拌,熔炼速度快
定向凝固保温采用特制加热电源
具有三相电流平衡,维护费用低
采用恒温度控制仪,可设置148段加热工艺曲线
炉室采用高真空炉体,真空度高,抽气速度快
主要技术参数
熔炼容量:10-450KG
电源功率:40-450KW
设计温度:≥1700℃
工作温度:1550℃
升温速率:40℃/Min
炉温均匀性:±5℃
极限真空度:6.67×10-2Pa
压升率: 0.01PaL/S
额定充气压力:0.05Mpa
铸锭方式:坩埚下降/保温桶提升定向凝固
伺服控制范围:0.01mm-6mm/Min
定向凝固速率:0.01mm-0.5mm/Min
坩埚快速返回速度:80-100 mm/Min
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