二、主要技术指标： 
1、曝光面积：ф100mm； 
2、分辨力：　 1.7µm（胶厚2 µm的正胶）； 
3、对准精度：  ±1µm；　　 
4、掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm； 
5、掩模尺寸：2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch； 
6、样片尺寸：直径ф15mm-- ф100mm、 
　　　　　   厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)； 
7、照明均匀性：±6%（ф100mm 范围）； 
8、掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm;　 Y: ±5mm;　θ: ±6°； 
9、汞灯功率：200W（直流）；
10、曝光波长：365nml      
11、曝光能量密度：6mW/cm (420nm以上波长小于0.2mW/cm )l     
12、曝光方式：定时（到计时方式）
13、外形尺寸：650mm（长）´600mm(宽)´900mm（高）