详细介绍: 质量流量控制器
SEC-E40 系列
(制造单位:HORIBA STEC有限公司)
适用于从微小流量到大流量控制的低成本型号
概要
· 适用于广泛范围的流量控制:在同一系列中,适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制
· 适用于广泛的用途:在普通产业市场中,拥有众多的销售业绩,引以为豪。
· 低成本:产品阵容中有力求具有成本优势的型号: SEC-E40MK3/E50MK3
技术规格
型号
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SEC- (质量流量控制器)
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E40/E40MK3
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E50/E50MK3
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SEF- (质量流量计)
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E40
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E50
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适用气体种类*1
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非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)
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气体接触部材质
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SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢
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阀门型号
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非通电时 关闭
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标准流量量程 (N2相应F.S.)
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10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
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20/30 SLM
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