技术参数

型号规格	SFT310-TA	SFT320-TA
激光波长	1064
激光功率	10W	20W
激光重复频率	20KHz~100KHz
定位精度	0.01mm
重复定位精度	0.002mm
调阻精度	0.1%
分步重复最大陶瓷基片	170mm×170mm
工作电源	220V/50Hz/1KVA

晶圆薄膜电阻修调机性能
•自主知识产权，整机性能达到国际水平。
•采用专用花岗岩台座，可有效减小工作台启动、停止和加速过程产生的惯性震动；同时可保持机台温度的稳定性。
•独特的软件控制方式，在保证精度的前提下拥有很高的调阻速度，大大提高产能。
•强大的软件编程功能，能分别对激光功率、运动、测量、探针运动等进行编程自动化控制，大大提高了激光调阻机的应用范围。
•激光电光转换效率为30%，风冷，日均耗电不到10度，是闪光灯泵浦固体激光器的1/10，长期使用可为用户节省大量的能耗支出，减少碳排放，使用寿命长，性能稳定免维护，减少停机时间。