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VMU仪器特点??
◆????高端配置，超精密全自动测量，四轴CNC控制；??
◆????三轴THK精密线性滑轨、精密传动系统；??
◆????Renishaw开放式光栅尺，精度高、稳定性好；??
◆????Navitar自动变倍光学镜头，可实现自动变倍测量；??
◆????全鼠标、手柄操作，简单易用；??
◆????可程控6环8区环形表面光源，LED轮廓光源，同轴光源；??
◆????自动对焦测高，可加装接触式测头；??
◆????Vispec全自动影像测量软件（高端版）；??
◆????提供多种行程规格配置，如222、322、432、542等。??
VMU技术参数??
型号????VMU222????VMU322????VMU432????VMU542??????
行程(mm)????200×200×200????300×200×200????400×300×200????500×400×200??????
外部尺寸(mm)????1040×700×1620????1040×700×1620????1240×800×1620????1440×900×1620??????
重量(kg)????150????160????200????250??????
承重(kg)????25????25????25????25??????
测量精度????XY轴*????E2=(2.0+L/300)μm????E2=(2.5+L/300)μm??????
????Z轴**????E1=(5.0+L/200)μm??????
速度????XY轴????200mm/S??????
????Z轴????100mm/S??????
光栅尺????Renishaw光栅尺，0.4μm分辨率??????
CCD????SONY????1/2"CCD黑白/彩色??????
光源????轮廓光????????LED冷光源，256级亮度可调??????
表面光????6环8区LED冷光源，各段独立操控，256级亮度可调??????
同轴光????LED冷光源，256级亮度可调??????
光学系统***????Navitar????6.5:1可变倍，放大倍率29～163或58～326??????
软件????Vispec测量软件（高端版）??????
运动控制????自主专利的CNC直流伺服系统??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

工作环境????温度20℃±2℃，温度变化<2℃/hr，湿度30～80%??????
振动<0.002g，低于15Hz??????
电源????220V/50Hz/10A??????

*L表示测量长度，以毫米为单位。??
**Z轴的机械精度，聚焦的精度与工件表面有很大关系。??
***放大倍率为近似值，具体值与显示器的尺寸以及显示器的分辨率相关。??