产品名称：SIGMA KOKI压电辅助平台TADC-602WSPA

产品型号：TADC-602WSPA

产品介绍

XY 轴载物台，通过在手动载物台上添加压电辅助机构，可以进行 20nm 或更小的微调。 非常适合需要高分辨率位置调整的手动平台单元和系统。可提供 25x25、40x40、60x60mm 的载物台尺寸。

注：

安装载物台时，请注意不要让千分尺支架受到震动。 否则，压电辅助机构可能会损坏。

压电辅助专用控制器（PASC）的电源关闭时，压电辅助的位置调整将改变，微调位置将移动。

性能特点

l 压电辅助平台的专用控制器无需任何设置即可轻松进行微调。

l 表盘式旋钮的微调即使与测微头结合使用也可以毫无阻力地使用。

l 使用压电辅助控制器（PASC）调整微调机构。压电辅助平台随附一根压电辅助控制器连接电缆 (2m)。

技术参数

载物台尺寸 [mm]：60×60

行程轴：XY 轴

粗调行程 [mm]：±6.5

精细驱动行程 [μm]：>30μm

千分尺位置：侧面

行程/旋转 [mm] ：0.5

千分尺可读分辨率 [mm] ：0.01

压电分辨率：<20nm

导向方式：延伸接触球轴承导向

主要材料：铝

涂层：黑色阳极氧化

负载能力 [N] ：49(5kgf)

行程精度/直线度 [μm] ：3

力矩容量max.：

间距 [N?m] ：4.9

滚动 [N?m] ：4.9

偏航 [N?m] ：4.9

力矩刚度

间距 [″/N·cm] ：0.6

滚动 [″/N?cm] ：0.6

平行度 [μm] ：50

正交性 [μm] ：10

运行平行度 [μm] ：20

重量 [kg] ：0.5